PlasCalc,海洋光学
PlasCalc等离子体监控系统PlasCalc等离子体监控系统通过测量等离子体反应腔的发射光谱,实时监测反应腔内的等离子体组分和密度、等离子体温度、电子密度等参数。由等离子体发射光谱的强度值可计算得出等离子组分、颗粒密度及电子密度;由同一......
SpecEL-2000,海洋光学
椭偏仪SpecEL-2000是一款操作便捷的台式光谱椭偏仪,主要用于测量平整和半透明的样品,例如硅晶圆片和玻璃片等薄膜。 椭圆偏光技术是一种非接触式、非破坏性,以光学技术测量表面薄膜特性的方法。其检测原理是:当一束偏振光经过物体表......