ME-210(-T),PHOTONIC LATTICE
以往的椭偏仪是单点测试,因此要取得整面膜厚均匀性数据是需要N个小时的工作,而且最小的测量分辨率就是激光光斑大小,也就是说,无法取得微小区域的膜厚分布数据。ME-210是采用独自开发的微小偏光阵列片来克服上述两大问题的设备。ME-210能做的......