仪器简介: 椭圆偏振光谱是一种无损无接触的光学测量技术,基于测量线偏振光经过薄膜样品反射后偏振状态发生的改变,通过模型拟合后得到薄膜、界面和表面粗糙层的厚度以及光学性质等等,可测厚度范围为几埃至几十微米。此外,还可以......
多功能性设计,配置灵活,具备多角度测量能力,可方便实现在线与离线配置切换。是一款针对单层和多层薄膜进行简单,快速,精确表征和分析的工具。技术参数:· 光谱范围:450-1000nm· 多种微光斑自动选择· 专利光斑可视技术,可观测任何样品表......
全自动化&高集成度&可视化光斑一键式全自动快速椭偏仪 Auto SE——新型的全自动薄膜测量分析工具。采用工业化设计,操作简单,可在几秒钟内完成全自动测量和分析,并输出分析报告。是用于快速薄膜测量和器件质量控制理想的解决方案......
在镀膜或刻蚀的过程中,实时监测样品膜的膜厚以及光学常数(n,k)变化。技术参数:·可实现快速、实时在线监测样品膜层变化主要特点:将激发和探测头引入生产设备,可实现:· 动态模式:实时监测膜厚变化· 光谱模式:监测薄膜的界面和组分......
专为VUV 测量设计,整个系统处于真空状态,无氧气吸收。具备高度准确性;独一无二的超快测量速度;快速样品室抽真空能力,方便快速更换样品;氮气消耗量少。产品特点50KHz 高频PEM 相位调制技术45 秒内完成充氮气2 分钟内完成样品室抽真空......
AutoSE-一键式全自动快速椭偏仪全自动化&高集成度&可视化光斑操作简单,测试快速,为一般操作工人设计一键式全自动快速椭偏仪 Auto SE——新型的全自动薄膜测量分析工具。采用工业化设计,操作简单,可在几秒钟内......
仪器简介: 椭圆偏振光谱是一种无损无接触的光学测量技术,基于测量线偏振光经过薄膜样品反射后偏振状态发生的改变,通过模型拟合后得到薄膜、界面和表面粗糙层的厚度以及光学性质等等,可测厚度范围为几埃至几十微米。此外,还可以测试材料的反射......
这款薄膜厚度测量系统平台是一种模块化设计的薄膜厚度测量仪,可灵活扩展成精密的薄膜测量仪器,可在此基础上衍生出多种基于白光反射光谱技术的薄膜厚度测试仪,比如标准吸收/透过率,反射率的测量,薄膜的测量,薄膜温度和厚度的测量。这个薄膜厚度测量系统......
SEMILAB-全光谱椭偏仪GES5E (Spectroscopic Ellipsometer)SEMILAB成立于1989年,总部位于匈牙利布达佩斯,为生产、研发中心,客户遍布全球。在欧洲、和亚洲主要国家都设有分支机构, 在美国设有工厂和......
SEMILAB-SE2000 全光谱椭偏测试平台(Spectroscopic Ellipsometer Metrology Station)产品描述SE2000全光谱椭偏测试平台基于椭圆偏振测试技术,采用先进的旋转补偿器,结合光纤专li技术......