Film Sense FS-1™多波长椭偏仪Film Sense FS-1™多波长椭偏仪采用寿命长 LED 光源和非移动 式部件椭偏探测器,可在操作简单的紧凑型椭偏仪中实现快速和可 靠地薄膜测量。大多数厚度 0–1000 nm 的透明薄膜只......
仪器描述特点: · 易于安装· 基于视窗结构的软件,很容易操作· 先进的光学设计,以确保能发挥出zei佳的系统性能· 能够自动的以0.01度的分辨率改变入射角度· 高功率的DUV-VIS光源,能够应用在很宽的波段内· 基于阵列设计......
仪器描述特点: · 易于安装· 基于视窗结构的软件,很容易操作· 先进的光学设计,以确保能发挥出zei佳的系统性能· 能够自动的以0.01度的分辨率改变入射角度· 高功率的DUV-VIS光源,能够应用在很宽的波段内· 基于阵列设计......
PlasCalc等离子体监控系统PlasCalc等离子体监控系统通过测量等离子体反应腔的发射光谱,实时监测反应腔内的等离子体组分和密度、等离子体温度、电子密度等参数。由等离子体发射光谱的强度值可计算得出等离子组分、颗粒密度及电子密度;由同一......
椭偏仪SpecEL-2000是一款操作便捷的台式光谱椭偏仪,主要用于测量平整和半透明的样品,例如硅晶圆片和玻璃片等薄膜。 椭圆偏光技术是一种非接触式、非破坏性,以光学技术测量表面薄膜特性的方法。其检测原理是:当一束偏振光经过物体表......