仪器简介: 椭圆偏振光谱是一种无损无接触的光学测量技术,基于测量线偏振光经过薄膜样品反射后偏振状态发生的改变,通过模型拟合后得到薄膜、界面和表面粗糙层的厚度以及光学性质等等,可测厚度范围为几埃至几十微米。此外,还可以测试材料的反射......
仪器描述特点: · 易于安装· 基于视窗结构的软件,很容易操作· 先进的光学设计,以确保能发挥出zei佳的系统性能· 能够自动的以0.01度的分辨率改变入射角度· 高功率的DUV-VIS光源,能够应用在很宽的波段内· 基于阵列设计......
这款薄膜厚度测量系统平台是一种模块化设计的薄膜厚度测量仪,可灵活扩展成精密的薄膜测量仪器,可在此基础上衍生出多种基于白光反射光谱技术的薄膜厚度测试仪,比如标准吸收/透过率,反射率的测量,薄膜的测量,薄膜温度和厚度的测量。这个薄膜厚度测量系统......
PlasCalc等离子体监控系统PlasCalc等离子体监控系统通过测量等离子体反应腔的发射光谱,实时监测反应腔内的等离子体组分和密度、等离子体温度、电子密度等参数。由等离子体发射光谱的强度值可计算得出等离子组分、颗粒密度及电子密度;由同一......
椭偏仪SpecEL-2000是一款操作便捷的台式光谱椭偏仪,主要用于测量平整和半透明的样品,例如硅晶圆片和玻璃片等薄膜。 椭圆偏光技术是一种非接触式、非破坏性,以光学技术测量表面薄膜特性的方法。其检测原理是:当一束偏振光经过物体表......
Bruker FilmTek CD椭偏仪——多模态临界尺寸测量和先进薄膜计量学 FilmTekTM CD光学临界尺寸系统是我们的领先解决方案,可用于1x nm设计节点及更高级别的全自动化、高通量CD测量和高级薄膜分析。该系统同时提......
Bruker 椭偏仪 FilmTek 2000M TSV——用于半导体封装应用中高通量测量的先进计量系统 FilmTek™ 2000M TSV计量系统为先进的半导体封装应用提供了无与伦比的速度和精度组合。该系统为各种封装工艺和相关......
Bruker椭偏仪 FilmTek 6000 PAR-SE——用于IC器件开发和制造的先进多模薄膜计量学想了解相关产品,可联系上海尔迪仪器科技有限公司,拨打电话021-61552797FilmTek™ 6000标准杆数-SE先进的多模薄膜计......
Bruker椭偏仪FilmTek 2000 PAR-SE——用于几乎所有先进薄膜或产品晶片测量的先进多模计量 FilmTek™ 2000标准杆数-SE光谱椭圆偏振仪/多角度反射仪系统结合了尖端和专有的FilmTek技术......