RTP-150RL,螣芯
产品描述RTP-150RL 是在保护气氛下的桌面手动快速退火系统,以红外可见光加热单片 Wafer 或样品,工艺时间短,控温精度高,适用 2-6 英寸晶片。相对于传统扩散炉退火系 统和其他 RTP 系统,其独特的腔体设计、 &nbs......