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广东清华大学深圳研究生院
产品描述
产品说明：
（1）放大倍率15万倍（Magnification Max 150,000x）
（2）采用二次电子和背散射电子双重探测器（Signal Detection: SE Detector+BSE Detector）
（3）1KV~30KV加速电压选择，图像分辨率高（Accelerating Voltage:1kV to 30Kv，High image resolution）
（4）通过选配EDS可进行元素成份分析（EDS is optional, for component analysis）
（5）Tilt（0~45）载物台配置（可选择）（Tilt Stage configuration( optional)）
产品特性：
（1）台式扫描电镜,体型小巧,占用空间小;（2）强大的软件功能,单窗口操作界面让用户操作方便简单;（3）软件实现检测图形实时存储;（4）扫描电镜产品结构设计简洁,易于维护及保养;（5）自动平台采用中心定位模式,迅速定位待测样品;（6）高低压真空设计,可调式电压,为不同样品提供更合适的检测环境。
技术参数：
分辨率 | 5nm (30kV, SE Image) |
放大倍率 | 30x~150,000x |
加速电压 | 1kV to 30kV |
图像检测 | 二次电子图像-(SE)-Secondary Electron Image |
背散射电子图像(BSE)-Backscattered Electron Image | |
* Multi Detector (SE+BSE) | |
观察模式 | Standard Mode |
Charge-up reduction mode | |
电子枪系统 | |
灯丝类型 | 预对中钨灯丝 |
偏压系统 | 自动偏压方式 |
电子枪校正 | 手动方式 |
透镜构成 | |
聚光镜 | 2段式磁线圈透镜 |
物镜 | 1段式磁线圈透镜 |
探测器类型 | SE Detector/ BSE Detector |
载物台系统 | 自动或者手动 |
载物台移动 | 5轴手动或自动操控 |
图像偏移 | Image shift X, Y Image Shift (±150um) |
样品尺寸 | 高度35mm时直径80mm |
图像扫描 | 快速扫描: 320x240 (Scan time: 0.1 sec.) |
低速扫描 : 640x480 (Scan time: 3 sec.) | |
图片模式1: 1280x960 (Scan time: 30sec.) | |
图片模式2: 2560x1920 (Scan time: 60sec.) | |
图片模式3: 5120x3840 (Scan time: 120sec.) | |
自动功能 | 自动启动，自动聚焦，自动亮度对比度调节 |
图像存储格式 | BMP, JPEG, PNG,TIFF |
数据显示 | 放大倍率，探测器类型，电压，真空模式，Logo(Text)，Date and time，Text marker，比例尺等 |
真空系统 | 高真空模式 （旋转式机械泵）Rotary Pump/100Liters/min （涡轮式分子泵）Turbo Molecular Pump/ 70Liters/sec 抽真空时间：3分钟以内 |
操控系统 | 鼠标和键盘 |
PC：台式电脑（Desk Top） OS : Microsoft Windows 7 CPU : Intel CoreTM i5 or High version Memory / HDD : 4GB / 500GB or High version USB 2.0 | |
软件 | 图像文件打开，编辑，存储功能长度，面积，角度等测量功能,设置数初始化，图像拍摄模式转换，Archives, Setting(EDS)模式等 |
体积 | 设备主机-410(W)×660(D)×600(H)mm 控制主机：410(W)×290(D)×520(H)mm 外置真空泵-400(W)×160(D)×340(H)mm |
重量 | 105kg |
设备环境 | 温度：15℃~30℃ 电源：Single phase 100~240V AC, 1KW, 50/60Hz |
