产品描述
点击查看下载系列SS-60善时仪器 其他资料相关资料，进一步了解产品。
20nm (30kV, BSE Image)
放大倍率
18x~60,000x
加速电压
1kV to 30kV
图像检测
二次电子图像-(SE)-Secondary Electron Image
背散射电子图像(BSE)-Backscattered Electron Image
* Multi Detector (SE+BSE)
观察模式
Standard Mode
Charge-up reduction mode
电子枪系统
灯丝类型
预对中钨灯丝
偏压系统
自动偏压方式
电子枪校正
手动方式
透镜构成
聚光镜
2段式磁线圈透镜
物镜
1段式磁线圈透镜
探测器类型
SE Detector/ BSE Detector
载物台系统
自动或者手动
载物台移动
3轴（X，Y，R）或5轴（X，Y，R，Z，T）
图像偏移
Image shift X, Y Image Shift (±150μm)
样品尺寸
高度30mm时直径70mm
图像扫描
快速扫描: 320x240 (Scan time: 0.1 sec.)
低速扫描 : 640x480 (Scan time: 3 sec.)
图片模式1: 1280x960 (Scan time: 30sec.)
图片模式2: 2560x1920 (Scan time: 60sec.)
图片模式3: 5120x3840 (Scan time: 120sec.)
自动功能
自动启动，自动聚焦，自动亮度对比度调节
图像存储格式
BMP, JPEG, PNG,TIFF
数据显示
放大倍率，探测器类型，电压，真空模式，Logo(Text)，Date and time，Text marker，比例尺等
真空系统
高真空模式
旋转式机械泵+涡轮式分子泵
抽真空时间：3分钟以内
操控系统
鼠标和键盘
PC：台式电脑（Desk Top）
OS : Microsoft Windows 7
CPU : Intel CoreTM i5 or High version
Memory / HDD : 4GB / 500GB or High version
USB 2.0
软件
图像文件打开，编辑，存储功能长度，面积，角度等测量功能,设置数初始化，图像拍摄模式转换，Archives, Setting(EDS)模式等
体积
设备主机-410(W)×660(D)×600(H)mm
外置真空泵-400(W)×160(D)×340(H)mm
重量
105kg
设备环境
温度：15℃~30℃
湿度：70% or less
电源：Single phase 100~240V AC, 1KW, 50/60Hz
产品说明：
（1）放大倍率6万倍（Magnification Max 60,000x）
（2）采用二次电子和背散射电子双重探测器（Signal Detection: SE Detector+BSE Detector）
（3）1KV~30KV加速电压选择，图像分辨率高（Accelerating Voltage:1kV to 30Kv，High image resolution）
（4）通过选配EDS可进行元素成份分析（EDS is optional, for component analysis）
（5）Tilt（0~45）载物台配置（可选择）（Tilt Stage configuration( optional)）
产品特性：
（1）台式扫描电镜,体型小巧,占用空间小；
（2）强大的软件功能,单窗口操作界面让用户操作方便简单；
（3）软件实现检测图形实时存储；
（4）扫描电镜产品结构设计简洁,易于维护及保养；
（5）自动平台采用中心定位模式,迅速定位待测样品；
技术参数：
分辨率 | 15nm (30kV, SE Image)
|
