DTN430C/630C/450C/650C,雅马拓
洁净度100级、氧浓度低于20ppm的气氛炉,主要应用于固化半导体晶圆等。特点最高工作温度360℃和500℃。采用耐热高性能高效过滤器,可在洁净的环境下进行高温烘烤。高气密性的压力箱构造,氧浓度到达时间短,N2 消耗量极低。磁密封保持高气密......