型号： DTN430C/630C/450C/650C
品牌：雅马拓
产地：日本
| 产地： | 亚洲 |
|---|---|
| 供应商性质： | 一般经销商 |
| 产地类别： | 进口 |
| 仪器种类： | 其它 |
| 价格区间： | 25万-30万 |
洁净度100级、氧浓度低于20ppm的气氛炉，主要应用于固化半导体晶圆等。
特点
最高工作温度360℃和500℃。
采用耐热高性能高效过滤器，可在洁净的环境下进行高温烘烤。
高气密性的压力箱构造，氧浓度到达时间短，N2 消耗量极低。
磁密封保持高气密性，采用水冷机构保护密封部件免受热量影响。
可实现快速升温和降温，升降温速率可调节。
标准装备有废液回收装置，对气体进行冷却回收。
安全性
门检测开关
温度过升防止器
氧浓度异常安全装置
氮气压力检测
氮气流量检测
冷却水流量检测
漏水传感器
过电流漏电漏电保护开关
