Navigator® 數位式阻抗匹配器多功能 Navigator® 匹配網路的先進技術能在多種負載阻抗下(從15W 至 30kW,頻率至60MHz)進行快速、準確而可靠的匹配。該匹配網路配備了微處理器控制步進馬達電路和用戶可選的數......
Ovation VHF電源系統Ovation 全整合供電系統通過採用一種獨特的供電方案,能夠實現更快、更精確的製程過程,如要求嚴格的窄線寬、介電質蝕刻製程。該系統首次在無需外部感測器的情況下,為非 50-ohm 環境供電,反應比傳統電源更快......
Integro™ 微波產生器經濟型 Integro™ 微波產生器在很小的體積內結合了一個 13.56MHz、600W 的微波電源和一個自動匹配網路。這節省了寶貴的空間並使得整合變得更容易。它支援的功能包括:脈衝模式、CEX 操作以及多種保護......
HILIGHT™ 微波產生器(13.56MHz,600W)針對低功率、輕便應用,HiLight 系列微波產生器小巧、輕便,擁有氣冷式設計,是專門為顧客設計可在現場安裝的而非傳統19英寸機架型。HiLight 產生器可用於 13.56MHz ......
CESAR® RF產生器強大而多功能的 Cesar® 平臺可提供非常穩定的射頻功率輸送性能,以及一個多樣化的模式選擇,每種模式都具有一套獨特的功能(2、4、13.56、27.12和40.68 MHz;0.3至5 kW;擁有多種使用者介面和輸......
HFV® 變頻 (~2 MHz) 電源靈活的 HFV® 電源主要用於200和300 mm 晶圓製程、平面顯示器和 DVD 設備的電漿產生器,為離子化物理氣相沉積 (IPVD)、CVD 和蝕刻提供了製程一致性。這種通用電源的特點有數......
Apex® RF電源系統通用 Apex® 系列射頻電源和供電系統採用複雜的射頻轉換技術,在適合於反應室安裝的模組化設計中提供增大的產品和製程可靠性。Apex 平臺在針對半導體、平板顯示器或資料存儲製造以電漿為基礎的薄膜製程中表現優異。......
PEII 低頻系列PEII 低頻系列提供40 kHz 脈衝寬度調製電源,具有增強的電弧控制以及與高達60 kW 的輸出相匹配的內部負荷,無變壓器等外部組合硬體。......
Pinnacle® 3000Advanced Energy 的 Pinnacle® 3000 直流電源提供最高的效率和功率因數,從而帶來業界最低的運行和安裝成本。 Pinnacle 製程一致性和控制帶來的額外好處是使製程......
Pinnacle® Plus+Advanced Energy (AE) 的 Pinnacle® Plus+ 電源為單一的波形因數,為您的反應製程提供脈衝直流電解決方案所有優點,包括使用簡單、節約成本以及具有絕佳的靈活性。......