型号: Ovation VHF電源系統
品牌:AE
产地:美国
产地: | 美洲 |
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供应商性质: | 生产商 |
产地类别: | 进口 |
价格范围: | 5万-10万 |
Ovation VHF電源系統 |
Ovation 全整合供電系統通過採用一種獨特的供電方案,能夠實現更快、更精確的製程過程,如要求嚴格的窄線寬、介電質蝕刻製程。該系統首次在無需外部感測器的情況下,為非 50-ohm 環境供電,反應比傳統電源更快。60-MHz 的設計減小了整個電漿鞘層的電壓勢能,最大限度地減小了離子蝕刻損傷,從而提高了薄膜品質和良品率。 |