PHI 710,爱发科
PHI710主要特点:l SEM分辨率≤ 3 nm, AES分辨率≤ 8 nm在俄歇能谱的采集分析过程中,包括谱图,深度剖析及元素分布像,需要先在SEM图像上定义样......
PHI 4700,爱发科
在开发新材料及薄膜制程上,为了有助于了解材料组成间的相互作用及解决工艺流程的问题,材料组成或薄膜迭层的深度分析是非常重要的。PHI 4700使用了AES分析技术为基础,搭配灵敏度半球型能量分析器、10 kV LaB6扫瞄式电子枪、5 kV浮......