MPDEX‐21/21-2,NextCVD
NEXT CVD MPDEX‐21/21-2电感耦合等离子体系统电感耦合等离子体系统可以产生高密度(1012~1013 cm-3)的电感耦合等离子体,可以施加频率从0.5~13.56 MHz(低频到中频)的射频电源,外加功率变化范围是0~5......