■ 操作性·功能● 射频13.56Mhz 0-200W高功率机型,发生器自动匹配,无需调节反射波,进一步增加的操作的便捷性。● 标准配备数字式皮拉尼传感器,实时显示真空度,使得控制更为精确。● 高硼硅玻璃腔体非常适合于实验室处理比较纯净的精......
低温等离子·经典桶型。PR500:手动控制 PR510:自动触摸屏控制内槽硅晶圆灰化状态低温等离子的经典款非常具有历史性。采用自动协调功能及触摸屏操作(PR510),提高了操作性及安全性,是一款小型紧凑型的等离子处理设备。● 去除光刻胶● ......
高频等离子表面处理装置■ 操作性·功能● 射频13.56Mhz 0-500W高功率机型,发生器自动匹配,无需调节反射波,进一步增加的操作的便捷性。● 标准配备数字式皮拉尼传感器,实时显示真空度,使得控制更为精确。● 一体成型铝制腔体,腔体材......
高频等离子表面处理装置■ 操作性·功能● 射频13.56Mhz 0-1000W高功率机型,DP和RIE标配的双模等离子清洗机,可对应更多复杂工艺. ● 标准配备电离式真空计,实时显示真空度,使得控制更为精确。● 液晶触摸屏控制,操......
■ 操作性·功能● 40Khz 0-50W机型,可以覆盖实验室大部分的清洗、活化工艺。● 标准配备数字式皮拉尼传感器,实时显示真空度,使得控制更为精确。● 标配石英腔体,非常适合于实验室处理比较纯净的样品,无需担忧因为腔体材质的原因导致样品......
型桌上型高频等离子表面处理装置■ 操作性·功能● 射频13.56Mhz 0-300W高功率机型,发生器自动匹配,无需调节反射波,进一步增加的操作的便捷性。● 标准配备数字式皮拉尼传感器,实时显示真空度,使得控制更为精确。● 平行平板腔体非常......
经济型、通过等离子化气体的活性作用对处理对象表面进行改质、清洗特点● 经济型等离子清洗机。● 简单的等离子处理操作。● 无需高频使用申请。值得期待的应用案例<清洗>● 有机膜的去除(油,蜡等有机膜)。● ......
从样品表面改质到清洗的小型台式等离子清洗机用途● 高分子材料表面的官能基付与→粘合性、密着性提高。通 过氧化反应,在表面生成-OH,>C=O,-COOH等官能 基(微量的水分及二氧......
·PR500/510等离子灰化机高频输出 50~500W,反应腔 Φ215×305mm 低温等离子·经典桶型。 PR500:手动控制 PR510:自动触摸屏控制低温等离子的经典款非常具有历史性。采用自动协调功能及触摸屏操......
可进行样品传输系统定制● 操作快捷方便:放入样品收纳盒、自动处理、取出收纳盒。● 软性基板也可以进行传送操作。● 传送速度可在Hi-Low间调节。● 可通过网络进行远程操作(选购品)。规格&n......