SuperViewW1,中图仪器
中图仪器SuperViewW1白光干涉三维光学轮廓仪基于白光干涉原理,结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等,能以3D非接触方式对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表......