中图仪器SuperViewW1白光干涉微纳米三维形貌一键测量仪以白光干涉技术为原理,获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范围两大优点,适用于从超光滑到......
中图仪器SuperViewW白光干涉三维形貌测量系统基于白光干涉原理,能以3D非接触方式对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量。测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸,典型结果包括:表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,台阶高度,锥角等等);几......
中图仪器SuperViewW1白光干涉三维光学轮廓仪基于白光干涉原理,结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等,能以3D非接触方式对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表......