FSM128 薄膜应力及基底翘曲测试设备 FSM推出基于商业化应用的激光扫描光学杠杆技术,主要应用于薄膜应力和晶圆弯曲测量。该设备频繁使用在分析解决诸如薄膜裂纹,分层,突起和空隙是如何形成的问题。全新设计的FSM128系列设备,装备有精密......
连续式四探针片电阻及光学膜厚测量设备设计, 片电阻不受针尖距离影响多种型号以供选择: 自动上下片(Cassette to cassette, C2C) 室温至100°C 的测量(更高可选)可添加并整合于多腔式的集束型架构......
FSM360是一台全自动紫外线——可见光RAMan仪器,主要用与测量芯片应力。利用微米直径光斑照射。芯片会产生另外一个光束(Raman信号),Raman信号的频率有别于原来的光源。从Raman信号频率我们可以测出样本的应力大小。紫外线Ram......
红外干涉测量设备适用于可让红外线通过的材料硅、蓝宝石、砷化镓、磷化铟、碳化硅、玻璃、石 英、聚合物…………衬底厚度(不受图案硅片、有胶带、凹凸或者粘合硅片影响)平整度厚度变化 (TTV)沟槽深度过孔尺寸、深度、侧壁角度粗糙度薄膜......
基于Optilever激光扫描技术。 使用应力控制,避免薄膜分层,形成凹凸状。 光学设计减少图形衬底对激光的干涉。 在TSV, 半导体以及LED工艺上控制基底弯度。 在平板显示行业,控制玻璃的平整度&......