FSM128NT,FSM
FSM128 薄膜应力及基底翘曲测试设备 FSM推出基于商业化应用的激光扫描光学杠杆技术,主要应用于薄膜应力和晶圆弯曲测量。该设备频繁使用在分析解决诸如薄膜裂纹,分层,突起和空隙是如何形成的问题。全新设计的FSM128系列设备,装备有精密......