PECVD,伯英
PECVD, 支持定制,单片或卷对卷式PECVD。可用于沉积类金刚石、氧化硅、氧化铝、氧化钛、氮化物、硫化物等类型薄膜。可用于聚合物薄膜沉积。可选13.56兆赫、20kHz等离子体。 片式PECVD参数:真空度10-3Pa,薄膜厚......