全自动接触式光刻机（紫外光刻机）4-12寸可选技术参数：1．工作方式：装载机械手将晶圆片从 A 晶圆盒自动装载至预定位工作台，经过定位传感器及自动旋转系统的调节，实现工件的预定位；装载机械手再将完成预定位后的晶圆片装载至对准工作台，经过计算......

产品描述FeaturesWafer/substrate size from pieces up to 200 mm/8’’Top-side and bottom-side alignment capabilityHigh-precision......

全自动接触式光刻机（紫外光刻机）4-12寸可选技术参数：1．工作方式：装载机械手将晶圆片从 A 晶圆盒自动装载至预定位工作台，经过定位传感器及自动旋转系统的调节，实现工件的预定位；装载机械手再将完成预定位后的晶圆片装载至对准工作台，经过计算......

DaLI系列无掩膜纳米光刻机DaLI无掩膜纳米光刻机是一款采用亚纳米精度激光操控技术为核心的超稳定，桌面型，高精度，高速激光直写设备。其核心技术已经在在亚纳米级精度要求的仪器设备中经过十几年的应用检验。超高精度，和超高稳定性是DaLI无掩膜......

产品简介当代集成电路的发展进程中，紫外光刻技术起着不可替代的作用。利用紫外光源对紫外敏感的光刻胶进行空间选择性的曝光，进而将设计好电路版图转移到硅片上形成集成电路，这一工艺就是紫外光刻技术。光刻机的分辨率和套刻精度直接决定了所制造的集成电路......

飞秒激光加工系统超高精度紫外飞秒激光高速加工系统配置紫外飞秒激光放大器作为加工光源。该系统以高速扫描振镜耦合4f光学系统通过物镜在物镜扫描视场内进行高速高精度加工。同时，该系统利用二维高精度空气轴承直线电机位移平台进行大尺寸连续微纳结构的激......