产品简介当代集成电路的发展进程中,紫外光刻技术起着不可替代的作用。利用紫外光源对紫外敏感的光刻胶进行空间选择性的曝光,进而将设计好电路版图转移到硅片上形成集成电路,这一工艺就是紫外光刻技术。光刻机的分辨率和套刻精度直接决定了所制造的集成电路......
飞秒激光加工系统超高精度紫外飞秒激光高速加工系统配置紫外飞秒激光放大器作为加工光源。该系统以高速扫描振镜耦合4f光学系统通过物镜在物镜扫描视场内进行高速高精度加工。同时,该系统利用二维高精度空气轴承直线电机位移平台进行大尺寸连续微纳结构的激......