HMDS,爱义信
产品应用: 晶圆匀胶前衬底助黏、“增附”处理对于大部分光刻胶与Si衬底而言,其粘附性一般都是不错的,但是在光刻中,通常会用到一些例如蓝宝石、氮化镓、砷化镓甚至是贵金属薄膜等衬底,这类衬底与光刻胶的粘附性往往不怎么理想,这会导致后......