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AWS X1石英晶体微天平基于声波传感原理,可通过石英传感器频率和耗散变化来检测芯片表面质量和结构变化。适用于刚性和粘弹性薄膜,具有倍频操作模式,可给出薄膜的粘度,弹性模量,粘性模量,厚度等信息。测试频率高达160MHz,灵敏度可达8pg/......