RF Delivery Systems,康姆艾德
COMET RF Delivery Systems射频传输系统 射频电源是等离子体配套电源,它是由射频功率源,阻抗匹配器以及阻抗功率计组成,,应用于射频溅射,PECVD化学气相沉积,反应离子刻蚀等设备中。瑞士COMET是您射频技术......