BL,努美
密阻尼隔振光学平台精密阻尼隔振光学平台参数:?固有频率≤3-6Hz?表面粗糙度0.8μm~1.6μm?平面度≤0.05mm/m2?振幅≤5μm?重复定位精度±0.05mm?支架调整高度:±20mm精密阻尼隔振光学平台规格:产品型号平台规格(......
BZ,努美
精密气浮隔振光学平台精密气浮隔振光学平台参数:?平面度:0.02-0.05 mm/m2?振 幅:<1.1μm?表面粗糙度:< 0.6μm?重复定位精度:±0.05mm?空气压力:0.1-0.6(Mpa)?固有频率:......