俄歇电子能谱仪(Auger Electron Spectrometer, AES)为微电子业常见的表面分析技术之一。原理是利用一电子束为激发源,使表面原子之内层能阶的电子游离出,原电子位置则会产生电洞,导致能量不稳定,此时外层电子会填补产生......
MICROLAB350 - 俄歇电子能谱仪是一款高性能的,具有高灵敏度和高能量分辨率扫描俄歇电子能谱仪(AES)。 SEM分辨率<7纳米和扫描俄歇映射(SAM)分辨率<12纳米。......
X 射线光电子能谱(XPS)是材料科学和发展的领域中最广泛使用的表面分析技术。其原理是利用X射线束(一般会使铝阳极或镁阳极)作为入射源,照射在样品表面导致让光电子从原子的核心层被激发出。根据测得的光电子所发出的电子动能,再依照能量守恒定律就......
PHI Quantera II 扫描X射线光电子能谱仪(XPS)是Ulvac-Phi公司以在业界获得非常卓越成绩的Quantum 2000和Quantera SXM之上延申后所zui新研发的XPS分析仪器,其超卓技术包括有:一个独创微集中扫......
Escalab 250Xi型电子能谱仪是一台多功能高性能的表面分析仪器,它可以用于研究各种固体材料样品表面(1-10nm厚度)的元素种类、化学价态以及相对含量。结合离子刻蚀技术还可以获得元素及化学态深度分布信息;通过成像技术可以获得元素及化......