FE-5000,大塚电子
FE-5000椭圆偏振光测量仪纳米级的薄膜膜厚测量·非接触非破坏实现多层膜的解析材料表面光学常数(折光率、消光系数)测量·可求得膜厚以及光学定数的波长分散(膜厚,折射率,消光系数,tanΨ、cosΔ)·提供膜厚管理膜质管理有用的信息通过40......