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手套箱专用等离子清洗机VP-R3分体式是善准为了回应市场需求而研制的,既保留了VP-R3自动化操作的便利及PLASMA处理效果,又实现把真空腔体分离,便于放入手套箱的狭小空间,解决了材料的放置、处理、取出均在无氧无水、零污染的手套箱内完成工......
一、Tergeo-Pro等离子清洗机-产品特征:【1】大样品室(内径:9″/ 230mm,深度:13.4″/ 340mm)。足够容纳一个8英寸晶圆片。【2】等离子体放电方法:电容耦合等离子体放电,外部有弯曲的放电电极。【3】连续和脉冲等离子......
■ 操作性·功能● 射频13.56Mhz 0-200W高功率机型,发生器自动匹配,无需调节反射波,进一步增加的操作的便捷性。● 标准配备数字式皮拉尼传感器,实时显示真空度,使得控制更为精确。● 高硼硅玻璃腔体非常适合于实验室处理比较纯净的精......
CIF推出的CPC系列生产型等离子清洗机是为研发型客户和工业级客户而设计的等离子体表面处理设备,配置丰富,且真空腔体里可分层,适合大多数生产场景。适用于等离子清洗,活化以及刻蚀等多种应用,设备可在严苛环境下稳定运行,产品稳定,样品处理重复性......
低温等离子·经典桶型。PR500:手动控制 PR510:自动触摸屏控制内槽硅晶圆灰化状态低温等离子的经典款非常具有历史性。采用自动协调功能及触摸屏操作(PR510),提高了操作性及安全性,是一款小型紧凑型的等离子处理设备。● 去除光刻胶● ......
高频等离子表面处理装置■ 操作性·功能● 射频13.56Mhz 0-500W高功率机型,发生器自动匹配,无需调节反射波,进一步增加的操作的便捷性。● 标准配备数字式皮拉尼传感器,实时显示真空度,使得控制更为精确。● 一体成型铝制腔体,腔体材......
高频等离子表面处理装置■ 操作性·功能● 射频13.56Mhz 0-1000W高功率机型,DP和RIE标配的双模等离子清洗机,可对应更多复杂工艺. ● 标准配备电离式真空计,实时显示真空度,使得控制更为精确。● 液晶触摸屏控制,操......
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