NEXT CVD MPDEX‐21/21-2电感耦合等离子体系统电感耦合等离子体系统可以产生高密度(1012~1013 cm-3)的电感耦合等离子体,可以施加频率从0.5~13.56 MHz(低频到中频)的射频电源,外加功率变化范......
NextCVD系列多功能宽密度等离子体CVD国内的电感耦合等离子体都是基于中频13.56MHz的电源发生器,等离子体密度较低,而且是螺旋管式,主要用于等离子体刻蚀,不适宜用于沉积高质量薄膜。巨纳集团NextCVD系列多功能宽密度等离子体CV......
NEXT CVD MPDEX‐21/21-2电感耦合等离子体系统电感耦合等离子体系统可以产生高密度(1012~1013 cm-3)的电感耦合等离子体,可以施加频率从0.5~13.56 MHz(低频到中频)的射频电源,外加功率变化范围是0~5......