VS1800,日立
主要特点(1) 高测量性能垂直方向分辨率利用光干涉方法,通过独自的算法,实现0.01 nm*的垂直方向分辨率重现性利用干涉条纹测量凸凹的高度,通过将来自Z驱动机构的影响zei小化,实现0.1 %以下的重现性测量速度由于不需要样品的前处理,只......