NPE-4000 (ICPM),那诺-马斯特
NPE-4000(ICPM)ICPECVD等离子体化学气相沉积系统概述:NANO-MASTER ICPECVD系统能够沉积高质量的SiO2, Si3N4, 或DLC薄膜到z大可达6” 直径的基片上.该系统采用淋浴头电极或......