IDS 3010,Attocube Systems
皮米激光干涉仪 德国attocube公司在皮米精度位移激光干涉仪FPS的基础上,新推出了体积更小、适合集成到工业产品与同步辐射应用中的IDS型号皮米精度位移激光干涉仪。与FPS型号干涉仪相似......