Dektak XTL,布鲁克
Dektak XTL™ 探针式轮廓仪可容纳高达 350mm x 350mm 的样品,为大型晶圆和面板制造带来Dektak ®传奇的可重复性。Dektak XTL 具有空气振动隔离设计和全封闭工作站设计,具有易用的联锁门,是当今苛刻......