PI 压电精密XY位移平台,TMC
精密XY位移平台高运动精度和稳定性行程为205毫米×205毫米(8")单向重复精度达0.05微米速度达90毫米/秒两相步进电机或直流电机增量线性编码器分辨率为1纳米20000次脉冲/分辨率的旋转编码器 ......