晶圆厂唯一具有自动缺陷检测的原子力显微镜用于高吞吐量CMP轮廓测量的高精确低噪声原子力轮廓仪Park NX-Wafer是业界领先的半导体及相关制造业自动化AFM计量系统。该系统能提供晶圆制造厂检查和分析、裸晶圆和衬底的自动缺陷检测以及C......
Dimension Icon 原子力显微镜(AFM)的性能、功能及附件等方面具有全新表现,在聚合物、半导体、能源、数据存储及材料领域的纳米研究中将会得到广泛应用。Dimension Icon是Dimension系列产品中的zui新款设备,它......
Park NX-Wafer技术参数系统规格电动XY平台200mm : 行程可达275 mm × 200 mm, 0.5 μm 分辨率300mm : 行程可达400 mm × 300 mm, 0.5 μm分辨率, 1 µm重复性电动 Z 平台......
Park NX-Wafer 低噪声原子力轮廓仪,用于更精确的CMP轮廓测量亚埃级表面粗糙度测量具有极高的精度和极长的探针使用寿命用于缺陷成像和分析的全自动AFM解决方案全自动系统,包括自动探针更换、机器人晶片搬运能够扫描300 m......
Park NX-Wafer技术参数系统规格电动XY平台200mm : 行程可达275 mm × 200 mm, 0.5 μm 分辨率300mm : 行程可达400 mm × 300 mm, 0.5 μm分辨率, 1 µm重复性电动 Z 平台......
高精度探针针尖变量的亚埃米级表面粗糙度测量,晶圆的表面粗糙度对于确定半导体器件的性能是至关重要的,对于先进的元件制造商,芯片制造商和晶圆供应商都要求对晶圆商超平坦表面进行更精确的粗糙度控制,通过提供低于0.5埃 的业界低噪音,并......
Park NX-Wafer 低噪声原子力轮廓仪,用于更精确的CMP轮廓测量亚埃级表面粗糙度测量具有极高的精度和极长的探针使用寿命用于缺陷成像和分析的全自动AFM解决方案全自动系统,包括自动探针更换、机器人晶片搬运能够扫......
产品介绍? 自动化工业级原子力显微镜,带来线上晶片检查和测量 Park Systems推出业内噪声最低的全自动化工业级原子力显微镜——XE-Wafer。该自动化原子力显微镜系统旨在为全天候生产线上的亚米级晶体......
工业领先的低噪声帕克原子力显微镜于长距离滑动台相结合,成为用于化学机械抛光计量的原子力轮廓仪,新的低噪声AFP为局部和全面均匀性测量提供了非常平坦的轮廓扫描,具有好的轮廓扫描精度和市场可重复性,这保证在宽范围的轮廓量程上没有非线性或高噪声背......