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双探针扫描电子显微镜是一种将形貌表征技术(扫描电子显微镜)与电学测试技术(双探针电学测量系统)结合在一起的测试系统。双探针扫描电镜主要包括真空系统、电子光学系统、样品台和探针系统等四个组成部分,如图1所示。其中真空系统用于提供样品形貌表征和......