集成热压阻共振悬臂梁,尖端可变换,成像时间 少于1分钟(无需激光对准);热距离传感器可在数秒内自动化完成针尖靠近;热电MEMS驱动器高精移动悬臂针尖,具有低漂 移,适应长时成像实验;系统高度集成小巧,具有极强的振动免疫性,可 在任意平面上直......
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