Park NX-Hivac ,Park原子力显微镜
Park NX-Hivac技术参数扫描器Z扫描器柔性引导高推动力扫描器扫描范围: 15 µm (可选 30 µm)高度信号噪声等级: 30 pm(RMS, at 0.5 kHz bandwidth)XY扫描器闭环控制的柔性引导XY扫描器扫......