INFINITY,螣芯
离子束系统可以实现:稳定的膜层沉积速率;化学成分稳定离子束刻蚀以及反应离子束刻蚀,可以实现的刻蚀均匀性多种可选项,以适应不同应用要求:多种离子源可选;多种 工装夹具可选;多种镀膜控制方式可选;剩余气体分析;自动化控制方式可选离子束......