RGA100/RGA200/RGA300,SRS
RGA系列残余气体分析仪可以定量和定性分析出真空腔中残余气体的浓度和成分。• 100,200,和300amu 优于1amu 的分辨率6 个量级的动态范围可检测5 x 10-14Torr• 实时RGA Windows 和LabVIEW 软件......