PicoFemto扫描电镜原位气氛加热环境测量系统,将MEMS气氛环境微腔和加热模块集成到扫描电镜样品台上,在扫描电镜中制造可控的气氛环境并且可以对实验样品原位加热。PicoFemto扫描电镜原位气氛加热环境测量系统,将MEMS气氛环境微腔......
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