SXES,日本电子
软X射线分析谱仪(SXES :Soft X-Ray Emission Spectrometer)通过组合新开发的衍射光栅和高灵敏度X射线CCD相机,实现了极高的能量分辨率。 和EDS一样可以并行检测,并且能以0.3eV(费米边处Al-L基准......