参数:1 主机1.2 电子流量控制(EPC):所有流量、压力均可以电子控制,以提高重现性,13路电子流量控制1.3 压力调节:0.001psi大气压力传感器补偿高度或环境变化1.4 程序升压/升流:3阶1.5 具有4种EPC操作模式:恒温,......
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