设备规格衬底尺寸:标准尺寸:100mm Dia (4 inch)(可定制)工艺温度:温度范围:RT~400°C 精度:土1°C(可定制)前驱体路数:最大支持6路前驱体气路(可定制),包含固、液态前驱体源瓶加热系统:可加热温度范围:RT~15......
设备规格衬底尺寸:标准尺寸:300mm Dia (12 inch)(可定制)工艺温度:温度范围:RT~500°C 精度:土1°C(可定制)前驱体路数:最大支持6路前驱体气路(可定制),包含固、液态前驱体源瓶加热系统:可加热温度范围:RT~1......
设备规格可处理样品量:克级工艺温度:温度范围:RT~450°C前驱体路数:最大支持4路前驱体气路(可定制),包含固、液态前驱体源瓶加热系统:可加热温度范围:RT~150℃反应物路数:支持2路反应物气路(可定制)载气:标准:N2, MFC 流......
设备规格衬底尺寸:标准尺寸:200mm Dia (8 inch)(可定制)工艺温度:温度范围:RT~500°C (可定制)前驱体路数:最大支持6路前驱体气路(可定制),包含固、液态前驱体源瓶加热系统:可加热温度范围:RT~150℃反应物路数......
设备规格衬底尺寸:标准尺寸:200mm Dia (8 inch)(可定制)工艺温度:温度范围:RT~500°C (可定制)前驱体路数:最大支持6路前驱体气路(可定制),包含固、液态前驱体源瓶加热系统:可加热温度范围:RT~150℃反应物路数......
设备规格衬底尺寸:标准尺寸:200mm Dia (8 inch)(可定制)工艺温度:温度范围:RT~500°C (可定制)前驱体路数:最大支持6路前驱体气路(可定制),包含固、液态前驱体源瓶加热系统:可加热温度范围:RT~150℃反应物路数......
设备规格工艺温度:温度范围:RT~400°C 精度:土1°C(可定制)前驱体路数:支持6路前驱体气路(可定制),包含固、液态前驱体源瓶加热系统:可加热温度范围:RT~150℃反应物路数:支持2路反应物气路(可定制)载气:标准:N2, MFC......
设备规格工艺温度:温度范围:RT~500°C 精度:土1°C(可定制)前驱体路数:支持6路前驱体气路(可定制),包含固、液态前驱体源瓶加热系统:可加热温度范围:RT~150℃反应物路数:支持2路反应物气路(可定制)载气:标准:N2, MFC......
设备规格可处理样品量:克级工艺温度:温度范围:RT~450°C前驱体路数:支持4路前驱体气路(可定制),包含固、液态前驱体源瓶加热系统:可加热温度范围:RT~150℃反应物路数:支持2路反应物气路(可定制)载气:标准:N2, MFC 流量控......
设备规格工艺温度:温度范围:RT~500°C (可定制)前驱体路数:支持6路前驱体气路(可定制),包含固、液态前驱体源瓶加热系统:可加热温度范围:RT~150℃反应物路数:支持2路反应物气路(可定制)载气:标准:N2, MFC 流量控制(可......