Pioneer 180 PED System,Neocera
产品简介脉冲电子束沉积(Pulsed Electron Deposition)系统能发射高能脉冲(100ns) 电子束( 约1000 A,15 keV) 在靶材上穿透将近1 um,使靶材快速蒸发形成等离子体。在靶材上的非平衡提取(烧灼)能使......