NPC-4000（M）等离子去胶机（刻蚀机）概述：NANO-MASTER 等离子去胶和清洗系统是专门设计用来满足晶圆批处理或者单晶片处理的广泛应用，从晶圆的光刻胶剥离到表面改性都涉及到。该系列的设备采用PC控制，可以配套不同的等离......

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善准科技手套箱专用真空等离子处理仪VP-R3分体式是善准为了回应市场需求而研制的，既保留了VP-R3自动化操作的便利及PLASMA处理效果，又实现把真空腔体分离，便于放入手套箱的狭小空间，解决了材料的放置、处理、取出均在无氧无水、零污染的手......

手套箱专用等离子清洗机VP-R3分体式是善准为了回应市场需求而研制的，既保留了VP-R3自动化操作的便利及PLASMA处理效果，又实现把真空腔体分离，便于放入手套箱的狭小空间，解决了材料的放置、处理、取出均在无氧无水、零污染的手套箱内完成工......

等离子清洗机VP-R3采用低温真空石英腔体等离子清洗装置技术，真空腔体石英材质，两路进气通道，进气量可调，流量实时监测，数显真空检测，实时观察自动泄压动态，真空泵和主机联动噪音和油气污染小，中英文操作系统，触摸屏控制，射频频率13.56MH......

等离子体低温灰化仪VP-RS20真空腔体不锈钢材质，两路进气通道，进气量可调，流量实时监测，数显真空检测，实时观察自动泄压动态，中英文操作系统，触摸屏控制，功率500W，频率13.56MHz，能对材料起到清洁、刻蚀、活化、改性的作用，满功率......

善准科技旋转型真空等离子处理仪VP-T3解决了微小颗粒特别是粉末样品PLASMA处理不完全，不均匀的痛点，真空腔体在等离子处理过程中滚动旋转，从而带动粉末样品在真空环境下翻滚，从而确保的样品得到完全、均匀的等离子处理。善准科技旋转型真空等离......

一、Tergeo-Pro等离子清洗机-产品特征：【1】大样品室（内径：9″/ 230mm，深度：13.4″/ 340mm）。足够容纳一个8英寸晶圆片。【2】等离子体放电方法：电容耦合等离子体放电，外部有弯曲的放电电极。【3】连续和脉冲等离子......