产品介绍

探针台又称探针测试台，主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，探针台可吸附多种规格芯片，并提供多个可调测试针以及探针座，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对材料、芯片等进行科研实验分析，抽查测试等用途。

技术优势

◆模块化设计，可以搭建不同构件完成不同测试

◆探针台整体位移分辨率3μm，样品XYZR四维调节    

◆兼容多种光学显微镜，可以引入光路，完成光电mapping测试

◆兼容高倍率电子显微镜/体式显微镜，可360°旋转和微调升降

◆漏电流精度：10pA/100fa（屏蔽箱内）

◆探针采用进口交叉滚珠导轨，线性移动，无回程差设计

◆1微米以上电极/PAD使用

◆加宽探针架，可以放置6个DC探针座/4个RF探针座

◆全系列搭配显微镜XY精密移动功能，可以选配多种位移行程以及驱动形式

产品模块参数介绍

产品示意图

通用参数

XY110mm，Z轴10mm，360°粗调，±5°精调

3um

可引出背电极

进口无油真空泵，7L/min

环形真空吸附

XYZ均13mm

3um（可选配升级1um，电动）

100fA(三同轴线缆)

可调磁力吸附（可升级真空吸附）

三同轴接口

双目体视显微镜（可升级金相显微镜）

~270倍（可选配升级更高倍数）

2000W高清，支持PC端通讯传输

140mm，升降范围270mm，总高度350mm

XY行程25mm/50mm，分辨率3um

22寸高清显示器，HDMI高清接口

应用领域：

半导体材料光电检测、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、测量表面电阻率测试、精密仪器生产检测、航空航天实验等。

实验附件及常规测试步骤：

光学隔振平台(台面>600mm*600mm)、一台计算机(标准VGA接口和USB接口)、吉时利2400数字源表（含软件）等。

测试时连接探针台和数字源表，探针接被测物体，通过显微镜观察确定两根探针是否紧贴被测物表面，待连接导通后打开源表软件，选好参数即可出该触点的I-V性能曲线。

谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。