型号：SEMILAB-SE2000 全光谱椭偏测试平台
品牌：布鲁克
产地：匈牙利
| 产地： | 欧洲 |
|---|---|
| 供应商性质： | 总代理 |
| 产地类别： | 进口 |
| 价格范围： | 10万-30万 |
与SE-2000平台一样，SE-1000全光谱椭偏仪同时也是一个多功能测试平台，采用模块化的设计，可集成FTIR红外光谱测试模组、涡电流法非接触式或4PP接触式方块电阻测试模组、Mueller Matrix各项异性材料测试模组、Raman结晶率测试模组、电子迁移率表征模组、LBIC光诱导电流测试模组、反射干涉测试模组等多种功能，用户可根据测试需求合理选择搭配功能
产品特点
业界第yi家光谱型椭偏仪测试设备厂商
业界标准测试机构定标设备，参与发布中华人民共和国椭圆偏振测试技术标准
针对研发及实验室测试设计，能降低测试成本
模块化设计，可综合监控样品光学和电学特性
定期免费升级SOPRA材料数据库
开放光学模型拟合分析过程，方便用户优化测试菜单
主要应用
业界第yi家光谱型椭偏仪测试设备厂商
业界标准测试机构定标设备，参与发布中华人民共和国椭圆偏振测试技术标准
针对研发及实验室测试设计，能降低测试成本
模块化设计，可综合监控样品光学和电学特性
定期免费升级SOPRA材料数据库
开放光学模型拟合分析过程，方便用户优化测试菜单
主要技术指标
手动变角范围：45°-75°（最小步进5°）
光谱范围：245-990nm
最大样品尺寸： 200mm
厚度测量范围：0.01nm-50um（取决于样品类型
主要应用
光伏行业：薄膜电池透明导电膜、非晶硅微晶硅薄膜电池、CIGS薄膜电池、CdTe薄膜电池、有机电池、染剂敏感太阳能电池 |
半导体行业：High-K、Low-K、金属、光刻工艺、半导体镀膜工艺、外延工艺 |
平板显示行业：TFT、OLED、LTPS、IGZO、彩色滤光片 |
光电行业：光波导、减反膜、III-V族器件、MEMS、溶胶凝胶 |
主要技术指标
测试速度：＜1 sec （快速测试模式） |
测量光谱分辨率：＜0.5nm@633nm （高分辨率测试模式） |
最大样品尺寸： 300mm |
厚度测量范围：0.01nm-50um |
厚度测试精度：0.02nm @120nm SiO2 on Si |
折射率测试精度：0.002 @120nm SiO2 on Si |
