HORIZON 全反射X荧光光谱仪 应用于半导体材料领域

（XRF）仪器由激发源（X射线管）和探测系统构成。X射线管产生入射X 射线（一次射线），激励被测样品。样品中的每一种元素会放射出的二次X射线，并且不同的元素所放出的二次射线具有特定的能量特性。探测系统测量这些放射出来的二次射线的能量及数量。然后，仪器软件将控测系统所收集的信息转换成样品中的各种元素的种类及含量。利用X射线荧光原理，理论上可以测量元素周期表中的每一种元素。在实际应用中，有效的元素测量范围为11号元素（钠Na）到92号元素（铀U）。

仪器简介

TXRF(全反射X荧光)分析原理是基于X荧光能谱法，但与X射线能谱形成对比的是，传统能谱采用原级X光束以45°角轰击样品，而TXRF采用毫弧度的临界角(接近于零度角)入射。由于采用此种近于切线方向的入射角，原级X光束几乎可以全部被反射，照射在样品表面后，可以很大程度上避免样品载体吸收光束和减小散射的发生，同时减小了载体的背景和噪声，亦可减少样品使用量。

HORIZON 配备了12位样品台自动测量，创新光学编码器的步进电机，保证精确角度测量，采用高分辨、低背景的帕尔贴控温硅漂移检测器。广泛应用在环境分析、制药分析、法医学、化学纯度分析、油品分析、染料分析、半导体材料及核材料工业分析领域。

主要特点
■ 单内标校正，有效简化了定量分析，无基体影响；
■ 对于任何基体的样品可单独进行校准和定量分析；
■ 多元素实时分析，可进行痕量和超痕量分析；
■ 不受样品的类型和不同应用需求影响；
■ 独特的液体或固体样品的微量分析，分析所需样品量小；
■ 优良的检出限水平，元素分析范围从钠覆盖到钚；
■ 出色的动态线性范围；
■ 无需任何化学前处理，无记忆效应；
■ 非破坏性分析，运行成本低廉。